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三菱化学エンジ部門紹介
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資質·ライセンス
三菱化学エンジ部門紹介
ITF事業部
薬液供給設備
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薬液供給システムChemical Distribution System(CDS)
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Slurry供給システムSlurry Distribution System(SDS)
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現像液希釈システムDeveloper Dilution System (DDS)
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On－Site薬液調和システムOn-site Mixing System(OMS)
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Photo Resist集中供給システムPhoto Resist Distribution
System(PRDS)
回収、循環設備
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有機溶剤脱水回収システム Organic Solvent Dehydration
System(OSDS)
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現像液リサイクルシステム Developer Recycle System(DRS)
